Растровый Электронный Микроскоп AIS2000C (РЭМ)

Вкладки

Описание

Стоимость: уточнить

Наличие: под заказ

Срок поставки: 12 недель

Характеристики AIS2000C

  • Компактная конструкция для офисной среды
  • Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) производства компании «Seron Technology» средней ценовой категории, отличающийся высокой конкурентоспособностью
  • Мощное программное обеспечение анализа с универсальной функцией
  • Детектор обратно рассеянных электронов ET (ЭЛТ) (режим рассеянных/обратно рассеянных электронов)
  • Осмотр изображений в условиях без покрытия
  • Интуитивная операционная система
  • ŸВысокая скорость сканирования и высокое разрешение в пикселях
Техническая информация

Технические характеристики

ŸЭлектронная оптика

ŸПрограммное обеспечение анализа изображений

 

Разрешение

3,5 нм при 30 кэВ; 5 нм в режиме обратно рассеянных электронов)

Усовершенствование

Гистограммы, преобразование цветов, частотный фильтр и т.д.

 

Увеличение

10~200000X

Программное обеспечение анализа

Монгофокусная съёмка/мозаичное размещение/3D изображение и т.д.

 

Ток датчика

От нескольких пА до 8 мкА

Измерение

ПМУ (представляющий интерес участок; отслеживание геометрического участка), множество геометрических инструментов

 

Электронная пушка

Электрическое питание высокой степени стабильности (до уровня десятимиллионных долей)

Ускоряющее напряжение 0.5 ~30 кэВ

С предварительно установленным по центрувольфрамовым картриджем типа перекрестия

ŸСистема предметных столиков

 

Предметный столик

Пятиосный прецизионный предметный столик

 

Движение

40/40/40 мм (X/Y/Z)

 

Наклон

~ 60°

 

Вращение

Бесконечное, 360°

Ø130 (макс. размер образца)

 

Объектив

3-ступенчатый электромагнитный объектив

(оборудован двухщелевым объективом)

Электромагнитное смещение изображения

8-полюсный стигматор

4-полюсная сканирующая катушка

Механизация

Трёхосный механизированный предметный столик (дополнительно)

 

Размеры системы

 

580 (ширина) X 900 (глубина) X1500 (высота) мм

 

 

 

Апертура

Неподвижная и подвижная апертура с тремя отверстиями

 

Детектор

Детектор ET (позволяет получать изображение вторичных электронов и обратно рассеянных электронов (ОРЭ) без дополнительного детектора ОРЭ

 

ŸКамера/вакуум

 

Вакуум

Режим высокого вакуума (~10–5 торр)

Полная автоматизация с защитной системой

Ротационный насос + турбомолекулярный насос (80 л/с)

Контроль вакуума при помощи диффузионного вакуумметра

 

Дополнительно:

Энергодисперсионная рентгеновская спектроскопия, обратно рассеянные электроны, приборы с зарядовой связью и т.д.

 

Привод с цифровым управлением

 

Цифровое изображение

Режим поиска (640X480)

Режим осмотра (800X600)

Режим осмотра (1280X960)

Режим фотографии (1280X960, 2048X1536,4096X3072)

 

Функция автоматического управления

Автоматическая фокусировка, автоматическая настройка контраста/яркости

Автоматический стигматор/регулировка электронной пушки,

ток эмиссии и т.д.

 

Компьютер управления

Window XP/ Window 7, жидкокристаллический монитор

Четырёхъядерный или более мощный центральный процессор

 

 

ŸУсловия окружающей среды установки

Температура 22±2°C (колебания должны быть менее 5°C), и влажность должна быть менее 70%

Электрические параметры: Одна фаза, 220 ~230 В перем.тока, 5 кВт, 50/60 Гц

Вибрация: 3 мкм/м макс. при < 5-10 Гц и ЭМП. Для получения подробной информации см. руководство по эксплуатации.

Сделать запрос